更新時間：2025-06-28
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號：ELEC-RZ
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
特征
磁流體密封用于真空密封，可使用高達 10-6Pa 的高真空。
執(zhí)行器的小型化使其更緊湊，更容易安裝在設(shè)備中。
根據(jù)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、手數(shù)等，有多種手臂可供選擇。
它使用具有出色作性的多功能顯示示教器。
| 型 | 電 RZ | |
| 工作壓力區(qū)域 | 大氣壓~10-6Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 | |
| 持有的晶圓數(shù)量 | 1 件/2 件 | |
| 最大范圍 * | 1050 毫米 | |
| 旋轉(zhuǎn)角度 | ±210° | |
| 提升行程 | 50 毫米 | |
| 最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 964mm 取決于安裝臂 | |
| 有效載荷能力（包括手） | 1 千克 | |
| 作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 2.5 秒 / 全行程 |
| 把 | 最大 3.0 秒 / 180° | |
| 提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 | |
| 可重復的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 |
| 把 | ±0.1 毫米 | |
| 提升 | ±0.1 毫米 | |
| 示教器 | 附屬品 | |
| 控制器 | 分開 | |
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